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Publication
UHV reactive sputtering of AlN(0001) single crystals on Si(111) at high temperature by a two-step growth method
| Auteur(s) | Frédéric MALENGREAU, Serge HAGÈGE, Robert SPORKEN, Marc VERMEERSCH, Roland CAUDANO |
| Unité(s) de recherche(s) |
Laboratoire interdépartemental de spectroscopie électronique
Centre de recherches en physique de la matière et du rayonnement |
| Année | 1997 |
| Type | Articles de périodique |
| Langue | Anglais |
| Mots clés | |
| Résumé | |
| Codes bibliothèque | **RES. ACAD. |
| Versions électroniques |
Article de périodique
| Titre du périodique | Journal of the European ceramic society |
| Sous-titre du périodique | |
| Editeur scientifique | |
| Volume | |
| Fascicule | 17 |
| Pages | 1807 - 1811 |
| Date de parution | 1997 |
| Facteur d'impact | |
| Nombre de citations |
