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Publication

Epitaxial growth of aluminum nitride layers on Si(111) at high temperature and for different thicknesses

Auteur(s) Frédéric MALENGREAU, Marc VERMEERSCH, Serge HAGÈGE, Robert SPORKEN, Michael LANGE, Roland CAUDANO
Unité(s) de recherche(s) Laboratoire interdépartemental de spectroscopie électronique
Centre de recherches en physique de la matière et du rayonnement
Année 1997
Type Articles de périodique
Langue Anglais
Mots clés
Résumé
Codes bibliothèque **RES. ACAD.
Versions électroniques

Article de périodique

Titre du périodique Journal of materials research
Sous-titre du périodique
Editeur scientifique
Volume 12
Fascicule 1
Pages 175 - 188
Date de parution 1997
Facteur d'impact
Nombre de citations